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產品描述
C/C復合材料大型沉積爐
用途：
可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的復合材料的化學氣相沉積，如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。
特點
采用先進的控制技術，能精密控制氣體的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動范圍??；
采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理；
采用防腐蝕真空機組，持續工作時間長，維修率低；
化學氣相沉積爐主要配置
結構形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門：絲杠升降//液壓升降/手動升降；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
爐殼：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈
加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
工藝氣路系統：體積/質量流量計；手動閥/自動閥；進口/國產
真空泵和真空計---進口/國產
人機界面：觸摸屏/工控機
電器元件：正泰/施耐德/西門子
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參數\型號 |
XR-CJL-Φ110×200 |
XR-CJL-Φ150×200 |
XR-CJL-Φ260×320 |
XR-CJL-Φ330×200 |
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容積（L） |
1900 |
3534 |
16989 |
17105 |
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最高溫度（℃） |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
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工作區尺寸D×H（mm） |
Φ1100×2000 |
Φ1500×2000 |
Φ2600×3200 |
Φ3300×2000 |
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控溫方式 |
日本島電溫控儀 |
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加熱方式 |
電阻加熱/感應加熱 |
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真空系統 |
抗污泵 |
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燒結氣氛 |
碳氫氣體等 |
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額定電源電壓（V） |
380 |
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額定加熱電壓（V） |
根據設計確定，配置爐前變壓器 |
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極限真空度（Pa） |
1-100（真空冷態） |
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關鍵詞:
沉積爐
氣氛沉積爐
復合材料大型沉積爐
上一個
無
下一個
CVD氣相沉積爐
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